真空爐、氣氛爐的真空系統分類

2016-12-06  來自: 河南三博特耐儀器儀表有限公司 瀏覽次數:656

真空爐氣氛爐真空系統一般有三種類型:低真空系統、中真空系統和高真空系統。

 一、低真空系統。一般是由一個泵組成的系統,該種系統結構簡單、造價低。對這種要求范 圍的真空系統,一般只需配置機械真空泵,就能保證間斷工作的爐子可靠地工作。當真空度要求稍高,抽氣速率要求不太大的情況下,可選用旋片式真空泵;當抽氣速率需要較大,而真空度要求不太高時,可選用滑閥式真空泵。

  二、中真空系統。它有三種形式:1由羅茨泵為主泵串聯機械泵而構成的系統;2由油增壓 泵為主泵串聯機械泵而構成的系統;3由羅茨泵串聯小羅茨泵,再串聯機械泵而構成的系統。

  這種壓強范圍的真空系統,通常由增壓泵和機械真空泵組成。此時機械真空泵便是一種預真 空泵,預真空泵的選擇應保證增壓泵最 大能力的發揮。增壓泵有機械增壓泵(羅茨泵)和油增壓 泵兩種。機械增壓泵啟動快,能在短時間內達到極限真空,也有很大的抽氣速率,這樣彌補了油 擴散泵和油增壓泵在10~10-2Pa時抽氣速率小的不足。但是,機械增壓泵的極限真空度略低于油 增壓泵組成的真空系統。

  三、高真空系統。它有三種形式:1由擴散泵為主泵串聯羅茨泵,再串聯機械泵而構成的系 統;2由擴散泵為主泵串聯機械泵而構成的真空系統;3由擴散泵為主泵串聯油增壓泵,再串聯 機械泵而構成的真空系統。高真空系統與低真空系統相比,其特點是壓強較低、排氣量小、抽氣 速率小。高真空油蒸氣擴散泵不能直接對大氣工作。

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