TN-G1700S三溫區三路氣體CVD系統

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關鍵詞: 管式爐   三溫區管式爐   CVD系統     

摘要

產品名稱	TN-G1700S三溫區三路氣體CVD系統
產品型號	
產品簡介	
三溫區管式爐主要用途:陶瓷、冶金、電子、玻璃、化工、機械、耐火材料、特種材料、建材、高校、科研院所、工礦企業做粉末焙燒、陶瓷燒結、高溫實驗、材料處理、質高校、科研院所、工礦企業做高溫氣氛燒結、氣氛還原、CVD實驗、真空退火等。

產品介紹

三溫區管式爐主要用途:陶瓷、冶金、電子、玻璃、化工、機械、耐火材料、特種材料、建材、高校、科研院所、工礦企業做粉末焙燒、陶瓷燒結、高溫實驗、材料處理、質高校、科研院所、工礦企業做高溫氣氛燒結、氣氛還原、CVD實驗、真空退火等。

三溫區管式爐主要功能和特點:

1.設備的控制系統具有安全可靠、操作簡單、控溫精度高、保溫效果好、溫度范圍大、爐膛溫度均勻性高、溫區多、可選配氣氛、抽真空等。

三溫區管式爐技術參數:

1

產品型號

TN-G1700S

2

爐 膛

高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛,保溫性能好。

3

爐管尺寸

Φ60×1200mm

4

加熱元件

溫區1溫區3-硅碳棒,溫區2硅鉬棒

5

測溫元件

溫區1溫區3   S級, 溫區2   B級

6

控溫方式

溫度控制采用三個高精度30段數字控溫儀分別控制,具有PID調節、自整定功能,30段升降溫程序

7

密封方式

不銹鋼法蘭密封

8

真空系統

高真空系統組(達到技術要求)

9

工作溫度

溫區1溫區3≤1400℃     溫區2≤1700℃

10

溫度

溫區1溫區3≤1450℃     溫區2≤1750℃

11

恒溫精度

±1℃

12

恒溫區長度

總加熱區長度不小于 25〞

13

建議升溫速度

溫區1溫區3  20℃/min      溫區2     10℃/min

14

氣體流量系統

三通道質量流量控制系統(達到技術要求)

15

額定功率

10KW

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工作電源

AC220V/50HZ/60HZ

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標準配件

三溫區管式爐 1臺,高真空系統  1套,三通道質量流量控制系統 1套,原廠配置管式爐架 1個

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9全部產品